1、真空泵(Beng)的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要[Yao]求。如：真空鍍膜要求[Qiu]1×10-5mmHg的(De)真空度，選用的真(Zhen)空泵的真空度[Du]至少要5×10-6mmHg。通常選(Xuan)擇泵的真空度(Du)要高于真空(Kong)設(She)備真空度半個到一個數量級。

　　2、正确地選(Xuan)擇真[Zhen]空泵的工作點[Dian]。每種泵都(Dou)有一定的[De]工作(Zuo)壓強範圍，如[Ru]：擴散泵(Beng)為10-3~10-7mmHg，在(Zai)這樣寬壓(Ya)強範圍内，泵的(De)抽速随壓強而變化，其(Qi)穩(Wen)定的(De)工作壓強範圍(Wei)為5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作點[Dian]應該選在[Zai]這個範圍(Wei)之内，而不能讓[Rang]它在[Zai]10-8mmHg下長期工作。又(You)如钛(Tai)升華泵可(Ke)以在10-2mmHg下工[Gong]作，但(Dan)其工作壓強應[Ying]小于1×10-5mmHg為好[Hao]。

　　3、真空[Kong]泵在其工作壓(Ya)強下[Xia]，應能排走(Zou)真空設備工藝(Yi)過程中産生的(De)全部氣體[Ti]量。

　　4、正确地組[Zu]合真空(Kong)泵。由于真空泵(Beng)有選擇性抽氣(Qi)，因而，有時選用一種泵不能滿(Man)足抽氣[Qi]要求，需要幾種泵組合起來(Lai)，互相補[Bu]充才能滿足抽氣要求。如钛[Tai]升華(Hua)泵[Beng]對氫[Qing]有很高的抽速，但不能抽氦，而[Er]三極型(Xing)濺射離子泵[Beng]，（或二極型非(Fei)對(Dui)稱陰極濺射離子(Zi)泵）對氩有(You)一定的抽速，兩者組[Zu]合起來，便會使真空裝[Zhuang]置得到(Dao)較好的真空度。另外，有的真空(Kong)泵不能在大氣壓下工作，需[Xu]要(Yao)預真空；有(You)的真空泵出口壓強[Qiang]低于大氣壓，需要(Yao)前級泵，故都(Dou)需要把泵組合[He]起來使用。

　　5、真空[Kong]設備對油污染的(De)要求。若設備(Bei)嚴格(Ge)要求無油(You)時，應該選各種無油泵，如(Ru)：水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵[Beng]、低溫泵等。如果(Guo)要(Yao)求不嚴格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加(Jia)冷阱、障闆、擋(Dang)油[You]阱等(Deng)，也能達到清潔真空[Kong]要求。

　　6、了[Le]解被抽氣體成分，氣體中含不含[Han]可凝蒸氣，有無顆粒(Li)灰塵，有無腐蝕[Shi]性等。選擇真空泵時，需要[Yao]知道氣體成分，針對(Dui)被抽氣體選擇相應(Ying)的泵。如果氣體[Ti]中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體(Ti)，應該考慮在[Zai]泵的進氣口管路上安裝輔助設備[Bei]，如冷凝器、除塵器等。

　　7、真空[Kong]泵(Beng)排出來(Lai)的油蒸氣對環境(Jing)的影響如何[He]。如果環境不[Bu]允許有(You)污[Wu]染，可以選無油真[Zhen]空泵，或者把油蒸[Zheng]氣(Qi)排到室外。

　　8、真空(Kong)泵工(Gong)作時産生的振動對(Dui)工藝過程及環境有[You]無影響。若工藝過[Guo]程[Cheng]不允許，應選擇無振動(Dong)的泵或者采取防振動措施。

　　9、真空泵的(De)價格、運轉及維(Wei)修費[Fei]用。

标[Biao]龍計量泵/浙[Zhe]江計量泵/山東計量泵/四(Si)川計量泵/成[Cheng]都計(Ji)量泵/重[Zhong]慶(Qing)計量泵 /湖南計量泵/成套(Tao)加藥裝置

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