1、真空泵(beng)的工作壓(ya)強應該滿足真(zhen)空設備的極限(xian)真空及工作壓(ya)強要求。如：真空(kong)鍍膜要求1×10-5mmHg的(de)真空度，選用的真空泵的真空度(du)至少(shao)要5×10-6mmHg。通常選(xuan)擇泵的真(zhen)空度要高于真空設備真空度(du)半個到一個數量級。

　　2、正确(que)地選(xuan)擇真(zhen)空泵的工作點(dian)。每種泵都有一定的工作壓強範圍，如：擴散泵為10-3~10-7mmHg，在這樣寬壓(ya)強範圍(wei)内，泵的抽速(su)随壓強而變化，其穩定的工作壓強範圍(wei)為5×10-4~5×10-6mmHg。因(yin)而，泵的工(gong)作點應該選在(zai)這個範圍之内(nei)，而不能(neng)讓它在(zai)10-8mmHg下長期工作。又如钛(tai)升華泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作壓強應小于1×10-5mmHg為好(hao)。

　　3、真空泵在其工作壓(ya)強下(xia)，應能排走真空(kong)設(she)備工藝(yi)過程中(zhong)産(chan)生的(de)全部氣體量。

　　4、正确地組合真空泵。由于真空泵(beng)有選(xuan)擇性抽氣，因而，有(you)時選用(yong)一種(zhong)泵不能滿足抽氣要求，需要幾種(zhong)泵組合(he)起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如钛升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型(xing)濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氩有一定(ding)的(de)抽速，兩者組(zu)合起來，便會(hui)使真空裝置(zhi)得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真(zhen)空；有(you)的真空泵出口壓強(qiang)低于(yu)大(da)氣壓，需要(yao)前(qian)級(ji)泵，故都(dou)需要把泵組(zu)合起來使用(yong)。

　　5、真空設備對油污染的要(yao)求。若設備嚴格要求無油時，應該選各種(zhong)無油泵，如：水環泵、分子篩吸附泵、濺(jian)射離(li)子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格，可以選(xuan)擇有油泵，加上一些防油(you)污染措施(shi)，如加冷阱、障闆、擋油阱等，也能達到清潔真空(kong)要求。

　　6、了解被抽氣體成分，氣體中含(han)不含可凝蒸氣(qi)，有無顆粒(li)灰塵，有無腐蝕性等(deng)。選擇真空泵時，需要知道氣(qi)體成分，針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有(you)蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應(ying)該考慮在泵的進氣口管路(lu)上安裝輔助設備(bei)，如冷凝器、除塵器等。

　　7、真空(kong)泵(beng)排出來的油蒸氣對環境的影響如何。如果環境不允許有污染，可(ke)以選無油真空泵，或者(zhe)把油蒸氣(qi)排(pai)到室外。

　　8、真(zhen)空(kong)泵工(gong)作時産生的振動對(dui)工藝過程及環境有無影響(xiang)。若工藝過程不允(yun)許，應選擇無振(zhen)動(dong)的泵或者采取防振動(dong)措施。

　　9、真空泵的(de)價格、運轉及維修費(fei)用。

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